Трубчатая печь с двумя зонами нагрева

Модель

CY-O1200-50IIT

Материал печной трубы

Кварц высокой чистоты

Диаметр трубы

50мм

Длина трубы печи

1200мм

Длина камеры печи

440мм

Длина зоны нагрева

200мм+200мм

Рабочая температура

0～1100℃

Точность контроля температуры

±1℃

Режим контроля температуры

Программный контроль температуры на 30 или 50 сегментов

Дисплей

HD full color LCD touch screen

Герметизация

304 вакуумный фланец из нержавеющей стали 

Источник питания

AC: 220В 50/60Гц 2.5кВт

Система радиочастотного выхода

Диапазон мощности

0~500 Вт регулируемая мощность 

Рабочая частота

13.56МГц+0.005%

Режим работы

Непрерывный выход

Режим согласованного импеданса

Его можно подобрать, и свечение равномерно распределяется по всей трубе печи

Стабильность мощности

≤2Вт

Нормальная рабочая отраженная мощность

≤3Вт

Усиленная отраженная мощность

≤70Вт

Гармоническая составляющая

≤-50дБ

Суммарная эффективность

≥70%

Фактор мощности

≥90%

Напряжение питания/частота

Однофазный переменный ток (187 В ~153 В) частотой 50/60 Гц

Режим управления

Внутреннее управление/аналоговое количество ПЛК/связь по RS232/485

Настройки защиты питания

Защита от перегрузки по постоянному току, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженной мощности

Метод охлаждения

Принудительное воздушное охлаждение

Зона свечения

Под аргоном (Ar), радиочастотный источник питания и катушка взаимодействуют с пламенем, заполняя трубу печи

Испарительная лодка

Рабочая температура

1300℃

Источник испарения

Корзина из вольфрамовой проволоки, дополнительный конический глиноземный тигель

Термопара

Термопара типа S

Рабочий ток

≤30A

Макс. мощность

500Вт

Система подачи газа

Расходомер

Четырехканальный массовый расходомер

Диапазон потока

Диапазон MFC1: 0~200 sccm Диапазон MFC 2: 0~200 sccm

Диапазон MFC3: 0~500 sccm Диапазон MFC 4: 0~500 sccm

Соответствует газам H2, CH4, N2, Ar.

Точность измерений

±1.5%F.S

Воспроизводимость

±0.2%FS

Линейная точность

±1%F.S.

Время отклика

≤4с

Рабочее давление

-0.15MПа~0.15MПа

Управление потоком

Управление с сенсорным жидкокристаллическим экраном, цифровой дисплей, каждый канал подачи газа содержит игольчатый клапан для индивидуального управления.

Впускной интерфейс

Он может быть соединен с трубой из нержавеющей стали наружного диаметра 1/4 NPS или 6 мм

Выпускной интерфейс

Он может быть соединен с трубой из нержавеющей стали наружного диаметра 1/4 NPS или 6 мм

Способ подключения

Соединитель с двойным наконечником

Рабочая температура

5~45℃

Смешивание газов

Оснащен устройством для предварительного смешивания газа

Выхлопная система

Модель

CY-GZK103-A

Молекулярный насос

Турбомолекулярный насос

вспомогательный насос

Двухступенчатый роторно-лопастной насос

Скорость откачки

Молекулярный насос: 600л/С

Полная производительность откачки: 30 минут вакуум может достигать: 5×10^-3Па

Роторно-лопастной насос: 1,1 л/С

Предельный вакуум

5×10^-4Па

Насосный порт

KF40

Выхлопной интерфейс

KF16

Измерения вакуума

Compound vacuum gauge